電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,合肥特種氣體,因為它們要求超純超凈,而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,1個PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

市場的表現(xiàn)是行業(yè)發(fā)展利好形勢的有力證明。近期,業(yè)內(nèi)企業(yè)、地方政府在電子特種氣體行業(yè)“大展拳腳”。凱美特氣擬3.1億元成立子公司,特種氣體生產(chǎn)廠家,布局電子特種氣體領(lǐng)域;重慶產(chǎn)特種氣體首1次出口蘇丹,助力“一帶一路”建設(shè);大理建滇西1大特種氣體供應(yīng)項目。這些都為電子特種氣體行業(yè)的開拓孕育了新的發(fā)展契機。
根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)絕1對的領(lǐng)1先地位。可喜的是,隨著新技術(shù)、新成果不斷涌現(xiàn),特種氣體出售,將加速我國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長。

1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。

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